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微波等离子体化学沉积是制备金刚石膜的一种重要方法,用简单实验方法给出了MPCVD装置中微波模式转换,微波与等离子体耦合等工作原理,短形波导中的TE10模式经微波模式转换器转变为同轴线中的TEM模式,再由TEM模式转变为圆波导的TM01模式,TM01模式激发低压气体形成等离子体,等离子体严重影响微波模式分布,在国内首次成功运行了5kW天线耦合石英窗式MPCVD装置。