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利用计算流体动力学(CFD)技术,对有机污染物在空间滤波器内的扩散情况进行了数值模拟,得到了在不同洁净控制设计方案下,有机污染物物在空间滤波器真空系统中随扩散时间的浓度分布情况,而后在优选设计的基础上对模型进一步优化,最终减少了有机污染物对空间滤波器内光学元器件的污染,对于实现高功率激光装置的高效、精密运行具有重要意义。