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揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定,重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷.
微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究
【摘 要】
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揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定,重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷.
【机 构】
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哈尔滨工业大学机械工程及自动化系,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2002年1期
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