【摘 要】
：
研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al_2O_3薄膜表面形貌特点。采用该技术获得4和8 nm的Al_2O_3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过
论文部分内容阅读
研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al_2O_3薄膜表面形貌特点。采用该技术获得4和8 nm的Al_2O_3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉积技术加工超薄Al_2O_3薄膜,其形貌与成膜原理有关,与厚度无关。
The surface morphology of Al 2 O 3 thin films less than 10 nm obtained by atomic layer deposition was studied. The Al 4 O 3 thin films with 4 and 8 nm were obtained. The surface morphology of the films was measured by atomic force scanning electron microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM). The surface morphology of the films was investigated by least square method and multifractal analysis. Atomic Layer Deposition Technology Processing thin Al_2O_3 thin film, its morphology and film-forming principle, has nothing to do with the thickness.
其他文献
本文结合海南省东线高速公路第一期扩建工程石砌挡土墙的使用现状和五指山市畅好至番通公路石砌挡土墙施工实例,对挡土墙常见的病害成因进行了分析探讨,并提出了防治措施。
随着我国不断的发展,人们的生活越来越离不开交通,因此道路的建设已经成为社会的关注焦点,而市政道路作为道路交通建设的重要组成部分,它不仅改善了交通拥堵的现象,而且也是
夜的那一方，发着微微的光，照在幽深的古巷，吴侬软语，闲话宋唐，你让我充满了想象。雕花木窗，带着岁月之殇，还是那么好看，秋意微凉，常青藤扶摇直上，远处传来淡淡菊花香。
王毓玳1946年8月生,浙江诸暨市人。现为宁波工程学院人文学院教授,宁波工程学院社科联副主席。王毓玳教授说,二十多年来我始终是一个开垦者。从1982年开始,他就在高等学校教
本文主要依据砂土的本身特性,针对砂土路基在压实过程中存在的压实度不足、表面松散、起皮、含水量不易控制等问题,从施工机械、作业方法等各个方面阐述了具体的解决方法,以
综合英语对于英语专业学生来说是一门核心课程,它是以培养学生听说读写译各项技能从而提高学生的语言能力为目标的。但是当前的以老师为中心的传统教学方法严重降低了课程的
南京惠民桥市场的永兴水产批发中心董事长王瑞勤,现在是一副老板的派头,穿着讲究,水产门市部一年几百万元销售额的生意,多半交给手下人去打理,自己主要忙于业务洽谈,签定商
嘉祥县位于山东省西南部,隶属于济宁市,因春秋时期鲁哀公在此狩猎获一麒麟,取其嘉美祥瑞之意而得名。公元1147年建县,是中国古代四大圣贤之一宗圣曾子的故里。总面积960平方
夜半琴声到了夏天,肖邦弹了一天的琴,实在是很累,就悄悄地爬到床上睡下了。爸爸看着孩子们都已安然入睡,就习惯性地打开一本书,坐在沙发上,刚读了一页,突然传来了一声尖叫:“
一个人的去世让很多人惋惜,也让很多人恐惧。他仅仅38岁,领导着一家知名的民营企业,身家数十亿。他是中国民营企业家的代表,他的去世是否也会是中国企业家的代表?在他走后,