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半导体制造业的环境污染与清洁生产
半导体制造业的环境污染与清洁生产
来源 :环境保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z11272037
【摘 要】
:
在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案.
【作 者】
:
余刚
罗玉(车舟)
【机 构】
:
清华大学环境科学与工程系,北京,100084
【出 处】
:
环境保护
【发表日期】
:
2000年8期
【关键词】
:
半导体制造业
清洁生产
环境污染
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在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案.
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