Effects of Ar ion assisted deposition on the optical and electrical characteristics of electron-beam

来源 :光电子快报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangyi202

【摘要】

：

在这篇论文， Ar 离子轰炸的效果在非结晶的 Si 电影的电子横梁蒸发免职期间被调查。轰炸到二～十一次增加轻吸收并且到 3 000 次增加这部电影的传导力，这被发现。这以前从来没与

【作者】

：

SHU Xiong-wen XU Chen TIAN Zen

【机构】

：

BeijingOpto-electronicTechnologyLaboratory

【出处】

：

光电子快报：英文版

【发表日期】

：

2006年5期

【关键词】

：

氩离子电子束硅薄膜沉积作用光学性质 CLC number O484.1 O484.4+1

【基金项目】

：

Supported by National Key Basic Research Plan of China （G200 068302） ,Beijing Education Committee funding （KM200310005 009） ,Beijing Municipal Science ＆- Technology commission funding（ D0404003040221

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在这篇论文， Ar 离子轰炸的效果在非结晶的 Si 电影的电子横梁蒸发免职期间被调查。轰炸到二～十一次增加轻吸收并且到 3 000 次增加这部电影的传导力，这被发现。这以前从来没与电子横梁蒸发免职非结晶的 Si 被报导过。CLC 数字 O484.1 - 中国(G200 068302 ) 的国家关键基本研究计划支持的 O484.4+1 文件代码 A，资助的北京教育委员会(KM200310005 009 ) ，北京市政的科学与技术委托资助(D0404003040221 )

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