【摘 要】
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设计了正方形和正六边形圆孔阵列组成的金属/电介质光子晶体（MDPhC）来研究阵列类型对其强透射特性的影响。采用微机电（MEMS）技术制作了两种具有相同结构参数的正方形和正六边形圆
【机 构】
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复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室,桂林电子科技大学信息与通信学院
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设计了正方形和正六边形圆孔阵列组成的金属/电介质光子晶体（MDPhC）来研究阵列类型对其强透射特性的影响。采用微机电（MEMS）技术制作了两种具有相同结构参数的正方形和正六边形圆孔阵列组成的金/二氧化硅/硅光子晶体,利用傅里叶变换红外光谱仪测量其反射光谱。同时,也对这两种结构进行了时域有限差分法数值模拟。理论模拟和实验测量结果均表明,与正方形圆孔阵列相比,由正六边形圆孔阵列组成的MDPhC能够获得较强的光透射增强效果和较窄的透射峰。
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