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本文提出用迈克尔逊干涉仪测量真空蒸发镀金属膜厚度和光学常数的方法。并对实际中测定了镀得的铝膜厚度及光学常数，对结果进行了分析。
真空镀金属膜厚度及光学常数的测量
【摘 要】
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本文提出用迈克尔逊干涉仪测量真空蒸发镀金属膜厚度和光学常数的方法。并对实际中测定了镀得的铝膜厚度及光学常数，对结果进行了分析。
【机 构】
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新疆生产力促进中心
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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1999年6期
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