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SEZ(瑟思)集团与Air Liquide(液化空气公司,Euronext Paris证券交易所上市)于7月1113联合宣布,双方将通力合作,携手解决生产线前段(FEOL)的先进金属栅极蚀刻所面临的化学制剂的挑战。45纳米技术标准下的高k值门极绝缘体和高级金属栅极的电极预计会带来许多的制程挑战,包括去除不需要的含有金属电极材料的背面和倒角边沉积膜层。受到与领先的原子层沉积(ALD)公司Aviza Technology彼此独立但又互补的合作开发项目的推动,SEZ和Air Liquide将寻求合作共同开发一种