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SEZ（瑟思）集团与Air Liquide（液化空气公司，Euronext Paris证券交易所上市）于7月1113联合宣布，双方将通力合作，携手解决生产线前段（FEOL）的先进金属栅极蚀刻所面临的化学制剂的挑战。45纳米技术标准下的高k值门极绝缘体和高级金属栅极的电极预计会带来许多的制程挑战，包括去除不需要的含有金属电极材料的背面和倒角边沉积膜层。受到与领先的原子层沉积（ALD）公司Aviza Technology彼此独立但又互补的合作开发项目的推动，SEZ和Air Liquide将寻求合作共同开发一种