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为了解决锥光全息非接触式测量系统的输出非线性问题,提出采用三层BP神经网络方法来实现系统特性的非线性校准,充分利用神经网络自身具有的自学习和泛化能力,既避免了线性校准技术带来的原理误差,也避免了采用硬件校准方式的复杂性。大大降低了系统的测量误差,实验结果表明,校准前系统的最大测量误差为4.2μm,校准后的最大测量误差为1.5μm。