反应离子束蚀刻中的草地现象及其改善

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CmMocean
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对波导沟道制作的蚀刻工艺,讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响,对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践,包括光刻胶、温度效应、二次效应等因素,并提出进行光学稳定、调节离子入射角和改变刻蚀气体压强等减小草地现象的措施,对蚀刻低损耗波导进行有益的探索。
其他文献
近日,河南大学特种功能材料实验室教授杜祖亮课题组与香港中文大学物理系黄家伟教授合作,在DNA检测研究方面取得重要进展,相关研究成果在国际著名期刊Applied Physics Letters(《
根据美国宇航局所属费米伽马射线太空望远镜搜集的数据,美国一研究小组现正在对宇宙中最极端能量实施有史以来最清晰的观测,描绘出一幅宇宙能量新“地图”,而宇宙“十大高能射线
中国将有一台“巨无霸”式的天文望远镜:它的口径将达500m,接收面积相当于30个足球场大;与号称“地面最大机器”的德国波恩100m望远镜相比,灵敏度提高约10倍;与曾被评为人类20世纪
介绍了光纤传感器技术,以及如何使用光纤传感器技术测量动力陀螺转速。结合MSP430单片机设计了相应的测速硬件电路和软件算法,针对信号中可能出现的毛刺问题,设计了软件滤波算法。最后将MSP430单片机测量出的转速数据,与示波器测量出的转速数据相比较,结果表明:使用光纤传感器技术,匹配相应测速电路和测速软件,能够较准确地测出动力陀螺的转速。
一套激光放映设备,使彩色宽银幕电影《赤壁》展示出丰富逼真的色彩和精致入微的细节,绚丽的视觉特效令专家、来宾赞叹。这是7月17日在北京诞生的全球首家激光影院一幕。
运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品。研究了甲烷
通过建立计算机三维模型,模拟Greenough(格雷诺)体视显微镜系统中像倾的产生,并得到校正方法。调整半五角棱镜两个方向的角度,可以校正像倾。像倾角的大小与体视角和半五角棱镜的
对一种可用于楼宇之间或校园环境的近距无线光信息加密传送的方案进行了简要讨论。设计的系统中采用可见光作为工作波长,液晶屏为调制器,凸透镜系统为发射、接收光学天线。提出
介绍了一种基于数字图像处理的智能化血液粘度测试系统设计方法,详细分析了该测试系统的各个组成部分以及设计原理。系统采用了一体化系统设计思想,将在显微镜下的血液细胞样片通过光学系统处理后进行图像采集,经过数字图像处理后得出检测结果。并结合血液细胞采集样本特性提出了一种新的边缘检测算法,提高了系统数据分析效率。