【摘 要】
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设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作
【基金项目】
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福建省高端装备制造协同创新中心资金资助项目;国家自然科学基金项目(21503171);中央高校基本科研业务费项目(20720150091,20720150094)
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设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作为位移反馈,实现闭环控制,从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原理,并对系统进行了测试和标定实验。实验结果显示：该平台能够实现15μm的扫描,精度约为15 nm,且动态性能良好。
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