【摘 要】
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采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3wt%）.分析研究了成型压力对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响.采用X射线
【机 构】
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三峡大学材料与化工学院,广西新未来信息产业股份有限公司,无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金“硅量子点镶嵌碳化硅-非晶碳层状材料的构筑及发光机理”
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采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3wt%）.分析研究了成型压力对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响.采用X射线衍射仪分析物相组成,扫描电镜观测烧结体断口形貌,用热膨胀仪分析试样烧结收缩曲线,阿基米德排水法测量试样密度.结果表明：成型压力对GZO靶材烧结时生成ZnGa2O4的固相反应有促进作用,并且当成型压力由120MPa提高到200MPa时,固相反应生成更多的ZnGa2O4尖晶石相导致GZO陶瓷烧结致密所需的温度也有所提高.成型
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