【摘 要】
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为研究纳秒激光作用下的VO2薄膜的相变特性,采用泵浦-探测技术进行实验。首先,利用直流磁控溅射法制备VO2薄膜,经X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析表明样品质量较高。
【机 构】
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电子工程学院,红外与低温等离子体安徽省重点实验室,脉冲功率激光技术国家重点实验室
【基金项目】
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国家杰出青年科学基金(61405248),脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金(SKL2013ZR03)资助项目
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为研究纳秒激光作用下的VO2薄膜的相变特性,采用泵浦-探测技术进行实验。首先,利用直流磁控溅射法制备VO2薄膜,经X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析表明样品质量较高。然后,测量VO2薄膜在波长532nm处的透过率随温度的变化情况,发现透过率随温度升高由32%上升到37%,与红外波段完全相反。在此基础上,选择1064nm泵浦光和532nm探测光研究激光参数中能量密度和重频对VO2薄膜相变特性的影响,同时结合ANSYS有限元软件对纳秒激光作用下VO2薄膜的单脉冲温升情况进行分析。结果表明:VO2
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