CVD金刚石膜的抛光技术

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高的表面粗糙和厚度的不均匀性影响了CVD金而石膜的应用,而抛光可以减少这些缺点,近年来,发展了近多CVD金刚石膜的抛光技术,崦且不同的抛光技术都有其优缺点,本文总结了CVD金刚石膜的各种抛光技术及其特点,并提高出了一种新的抛光技术。
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