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简要综述表征薄膜成分、微结构及力学性能的常用方法.
A brief review of common methods for characterizing thin film compositions, microstructures and mechanical properties.
薄膜成分、微结构及力学性能表征
【摘 要】
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简要综述表征薄膜成分、微结构及力学性能的常用方法.
A brief review of common methods for characterizing thin film compositions, microstructures and mechanical pr
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室 上海200030,上海20003
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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1998年12期
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