【摘 要】
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一种研磨剂的制造方法,是由分散在水溶液中的二氧化硅颗粒和磨料的方法,其特点是至少通过离子交换,去除由台阶所制备的硅溶胶中的金属化合物离子;离子交换后硅溶胶纯度高的过
【机 构】
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一种研磨剂的制造方法,是由分散在水溶液中的二氧化硅颗粒和磨料的方法,其特点是至少通过离子交换,去除由台阶所制备的硅溶胶中的金属化合物离子;离子交换后硅溶胶纯度高的过程;高纯度硅溶胶加入碱金属氢化物的过程;加入碱金属氢化物的硅溶胶中加入酸.因此,可以提供一种研磨剂的制造方法,可以有效地抑制硅片的金属污染等.
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