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分别在不同的衬底温度下制备了SiCN薄膜,首先用红外吸收谱(IR)研究了薄膜中各元素间的成键情况,然后用x射线衍射谱(XRD)分别研究了高温样品和低温样品的结构,得到了它们的结晶状况.利用这些研究得到了衬底温度对薄膜生长的影响.
衬底温度对SiCN膜生长的影响
【摘 要】
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分别在不同的衬底温度下制备了SiCN薄膜,首先用红外吸收谱(IR)研究了薄膜中各元素间的成键情况,然后用x射线衍射谱(XRD)分别研究了高温样品和低温样品的结构,得到了它们的结
【机 构】
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运城学院物理与电子工程系
【出 处】
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运城学院学报
【发表日期】
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2005年5期
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