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对微细电火花群孔加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花加工机床加工出单电极，并用该电极加工出2×2直径约100μm的阵列孔，在此过程中采用加大加工长度和适度欠补偿的方法，获得了质量较好的阵列孔。用此阵列孔作为工具加工出了2×2直径约100μm的群电极，然后用此群电极一次加工出2×2直径约100μm的群孔，从而实现了微细电火花阵列孔的加工。