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微波是整个电磁频谱非常重要的组成部分，可以与物质发生丰富的相互作用：而原子力显微术（Atomic Force Microscopy，AFM）有超高的空间分辨率，是纳米研究的核心工具。将微波技术与AFM结合将实现一种全新的扫描微波显微术（Scanning Microwave Microscopy，SMM）。该技术可以探测各种样品（包括导体、半导体、绝缘体及其它新型材料）在微纳米尺度的多种电学性质，如载流子类型、介电常数、电导率和导磁系数等：以及实现微纳米尺度下微波探测技术，如NMR、ESR等，具有非常广阔的