论文部分内容阅读
为研究过硫酸盐/硫酸体系微蚀的最佳工艺条件,通过静态腐蚀速率测定法,对该体系的微蚀液组成和操作温度等微蚀条件进行了研究,实验结果表明最佳的微蚀条件为:温度26~32℃,铜离子质量浓度9~15g/L,过硫酸钠质量浓度75~125g/L,硫酸的体积分数为2%~4%,该条件下微蚀速率为0.5μm/min,过程稳定可控。