300mm圆片技术障碍

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300mm圆片技术障碍面对300mm圆片有许多技术难题,需在短时期内克服。通常,如果要求批量单晶生长过程或半连续装填工艺最佳化,而石英舟尺寸,质量和纯度是影响这一目标的关键因素。能在单晶炉内装填200kg的话(译者注:200mm直径单晶通常只装填10... 300mm Wafer Technology Barriers There are many technical challenges with 300mm wafers that need to be overcome in a short period of time. In general, the size, quality and purity of the quartz boat are the key factors that affect this goal if bulk single crystal growth or semi-continuous filling is required. Can be filled in a single crystal furnace 200kg words (Translator’s Note: 200mm diameter single crystal usually only loaded 10 ...
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