【摘 要】
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高纯氧化铝作为制作航空功能器件、精密仪表和集成电路基板等重要元件,其中的杂质种类和含量,直接影响元件性能,因此研究高纯氧化铝中杂质元素的测定方法。研究准备了大量实验仪器与实验试剂,通过选择不同的仪器高频功率、不同的铝基体浓度和酸度,设置三个阶段的实验测定条件。实验结果:在采用1050w高频功率下,各元素的光谱强度和信背比达到最佳状态,测定的杂质结果最优;不同铝基体浓度会对光谱线强度产生微弱影响;不同盐酸酸度会对光谱线强度产生微弱影响。由此可见,测定高纯氧化铝中的杂质元素时,不考虑铝基体浓度和盐酸酸度,通过
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高纯氧化铝作为制作航空功能器件、精密仪表和集成电路基板等重要元件,其中的杂质种类和含量,直接影响元件性能,因此研究高纯氧化铝中杂质元素的测定方法。研究准备了大量实验仪器与实验试剂,通过选择不同的仪器高频功率、不同的铝基体浓度和酸度,设置三个阶段的实验测定条件。实验结果:在采用1050w高频功率下,各元素的光谱强度和信背比达到最佳状态,测定的杂质结果最优;不同铝基体浓度会对光谱线强度产生微弱影响;不同盐酸酸度会对光谱线强度产生微弱影响。由此可见,测定高纯氧化铝中的杂质元素时,不考虑铝基体浓度和盐酸酸度,通过
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