【摘 要】
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利用压缩空气雾化器，通过喷雾热分解法，以ＳｎＣｌ２·２Ｈ２Ｏ为原料，在载玻片上成功制备了ＳｎＯ２薄膜。在１１０℃到３６５℃间的不同沉积温度下进行镀膜，考察了沉积温度、沉积时间对ＳｎＯ２薄膜制备的影响。结果表明：在３２５℃的
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利用压缩空气雾化器，通过喷雾热分解法，以ＳｎＣｌ２·２Ｈ２Ｏ为原料，在载玻片上成功制备了ＳｎＯ２薄膜。在１１０℃到３６５℃间的不同沉积温度下进行镀膜，考察了沉积温度、沉积时间对ＳｎＯ２薄膜制备的影响。结果表明：在３２５℃的沉积温度下，薄膜已晶化。随温度升高，喷雾时间增加，方块电阻降低。３２５℃下的样品在可见光区透射率达８０％以上，近红外区透射率达９０％以上。
SnO2 thin films were successfully prepared on glass slides by means of compressed air atomizer and spray pyrolysis method using SnCl2 · 2H2O as raw material. The films were deposited at different deposition temperatures from 110 ℃ to 365 ℃. The effects of deposition temperature and deposition time on the preparation of SnO2 thin films were investigated. The results show that the film has been crystallized at a deposition temperature of 325 ° C. As the temperature increases, the spray time increases and the sheet resistance decreases. Samples at 325 ° C exhibited visible light transmittance of over 80% and near-infrared transmittance of over 90%.
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