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期刊论文
激光多层靶的研制
激光多层靶的研制
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ljh163com
【摘 要】
:
文章简述了Cu-Formvar-Al-Formvar多层芭的制备工艺。其工艺过程是:先在载玻片上蒸镀Cu,再涂Formvar膜,脱膜装靶后再蒸镀Al。由于Formvar只受一次热蒸发,制备出了平整度满足要求的激光多层靶。
【作 者】
:
常富华
【机 构】
:
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
激光靶
多层靶
真空蒸镀
核靶
Laser target Multi-layer target Vacuum vapor deposition
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文章简述了Cu-Formvar-Al-Formvar多层芭的制备工艺。其工艺过程是:先在载玻片上蒸镀Cu,再涂Formvar膜,脱膜装靶后再蒸镀Al。由于Formvar只受一次热蒸发,制备出了平整度满足要求的激光多层靶。
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