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采用逆向工程方法获取微模具的点云数据,利用逆向工程软件对点云数据进行处理、曲面重构和误差分析。获得了具有较高曲面造型精度的模具模型。利用UG加工模块,对微模具的数控微细铣削加工过程进行仿真。确定合理的切削参数和数控程序。以微小型三轴数控铣床为加工平台,利用微径球头铣刀对微模具进行加工实验。最终,实现了特征尺寸在微米级、具有复杂曲面结构微模具的高质量加工。