俄罗斯项目专利

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93-029 海鸥-400型超高真空表面分析装置真空室:装有造成纯真空条件的磁离子泵,极限真空2—5×10~(-10)毫米水银柱;磁离子泵抽气速度400升/秒;不锈钢罩直径250mm;快速阀(同抽气系统完全隔绝)直径150mm;超高真空样品控制器,X轴和Y轴移动±10mm(±0.05mm)Z轴±20mm(±0.05mm),绕Z轴转动360°(±0.2°)。 93-029 Seagull-400 ultra-high vacuum surface analysis device Vacuum chamber: equipped with a magnetic vacuum pump resulting in pure vacuum conditions, the ultimate vacuum 2-5 × 10 ~ (-10) mm mercury column; magnetic ion pump pumping speed 400 L / sec; stainless steel cover diameter 250mm; quick valve (totally isolated from suction system) Ø 150mm; ultra-high vacuum sample controller ± 10mm (± 0.05mm) for X and Y axes ± 20mm ), 360 ° (± 0.2 °) around the Z axis.
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