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Stanford Nanofabrication Facility(SNF)1是一个面向学术界、工业界和政府的研究人员开放的实验室,拥有最尖端并可共享的设备(图1).
用于纳米制造的开放设备
【摘 要】
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Stanford Nanofabrication Facility(SNF)1是一个面向学术界、工业界和政府的研究人员开放的实验室,拥有最尖端并可共享的设备(图1).
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年3期
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