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应用基尔零夫公式对反射式共焦光路进行分析,给出了被测表面的法线与共焦光路的光轴不重合时的共焦轴向特性的理论模型.理论分析表明共焦轴向响应的半极值宽与被测表面的倾角大小无关.通过数值计算进行了仿真分析,得到了与实验曲线相符的结果.
表面倾斜对共焦显微测量轴向响应的影响
【摘 要】
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应用基尔零夫公式对反射式共焦光路进行分析,给出了被测表面的法线与共焦光路的光轴不重合时的共焦轴向特性的理论模型.理论分析表明共焦轴向响应的半极值宽与被测表面的倾角
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所150001
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2002年12期
【基金项目】
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国防预研基金
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