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表面倾斜对共焦显微测量轴向响应的影响
表面倾斜对共焦显微测量轴向响应的影响
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dfjixie2010
【摘 要】
:
应用基尔零夫公式对反射式共焦光路进行分析,给出了被测表面的法线与共焦光路的光轴不重合时的共焦轴向特性的理论模型.理论分析表明共焦轴向响应的半极值宽与被测表面的倾角
【作 者】
:
张建寰
谭久彬
【机 构】
:
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所150001
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
2002年12期
【关键词】
:
表面倾斜
轴向响应
表面测量
显微镜
光学传递函数
共焦光路
Optical transfer functionSurface measurement
【基金项目】
:
国防预研基金
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应用基尔零夫公式对反射式共焦光路进行分析,给出了被测表面的法线与共焦光路的光轴不重合时的共焦轴向特性的理论模型.理论分析表明共焦轴向响应的半极值宽与被测表面的倾角大小无关.通过数值计算进行了仿真分析,得到了与实验曲线相符的结果.
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