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建立了一个研究电感耦合等离子体源(ICPS)特性的数学模型,叙述了质点网格(PIC)法的原理.给出了PIC法的计算方法,指出PIC法必须与蒙特卡罗碰撞(MCC)模型和鞘层模型相结合,才能更准确地对ICPS进行模拟.文中讨论了不同参数(天线的位置和匝数,反应室高宽比等)对等离子体密度分布和电场强度分布的影响.根据模拟的结果,提出了改善等离子体均匀性的方法,这对高密度平面等离子体源的设计具有重要意义.