增强光电图像传感器紫外探测薄膜的制备

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 5次 | 上传用户：itwmh

【摘要】

：

传统的CCD、COMS等光电成像器件并不响应紫外光,在CCD、CMOS传感器光敏面镀上"紫外—可见"变频薄膜是增强其紫外响应的一种非常有效的方法。Zn2SiO4∶Mn由于粒子直径小,稳定性好,荧光量子效率高等优点,在增强光电器件紫外响应领域有着很广泛的应用前景。实验用"旋涂法"在石英基底上生成Zn2SiO4∶Mn紫外增强薄膜,并对其透射光谱、吸收光谱、激发光谱与发射光谱等光学性质进行测量分析。实验

【作者】

：

刘猛张大伟谢品倪争技黄元申

【机构】

：

上海理工大学光学与电子信息工程学院

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2009年09期

【关键词】

：

Zn2SiO4∶Mn 图像传感器紫外探测薄膜 Zn2SiO4：Mn image sensor UV-response thin-film

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