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浅谈SAW气敏传感器的发展
浅谈SAW气敏传感器的发展
来源 :中国仪器仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:V13_ywj
【摘 要】
:
SAW气敏传感器是一种基于声表面波器件波速和频率随外界环境的变化而发生漂移的原理制作而成的一种新型的传感器。本文介绍了SAW气敏传感器的结构、特点及其工作原理,讨论了SA
【作 者】
:
孙海山
余愚
蒋永华
【机 构】
:
西华大学机械工程与自动化学院
【出 处】
:
中国仪器仪表
【发表日期】
:
2006年6期
【关键词】
:
声表面波(SAW)
气敏传感器
叉指换能器
延迟线
Surface acoustic wave Gas sensor i Interdigital transd
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SAW气敏传感器是一种基于声表面波器件波速和频率随外界环境的变化而发生漂移的原理制作而成的一种新型的传感器。本文介绍了SAW气敏传感器的结构、特点及其工作原理,讨论了SAW气敏传感器的应用前景和发展趋势。
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