【摘 要】
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采用紫外光刻电铸和微成型(UVLIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构,频率为94~220GHz。对于94GHz高频结构,尺寸误差≤15μm,采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100W;1
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室
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采用紫外光刻电铸和微成型(UVLIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构,频率为94~220GHz。对于94GHz高频结构,尺寸误差≤15μm,采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100W;180GHz高频结构,尺寸误差≤5μm,采用此高频结构的太赫兹行波管二倍频器输出功率高于100mW,带宽为11.4GHz;220GHz高频结构,尺寸误差≤3μm,衰减因子为240dB/m。UVLIGA技术在太赫兹真空器件中的成功应用,不但为毫米波太赫兹器件研制奠定了基础,同时也为UVLIGA技术在设计制造毫米波太赫兹
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