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本文介绍了当前世界顶级半导体公司、材料公司、设备公司和微电子科研中心研发65nm、45nm、32nm和5nm工艺的最新进展和成果。
研发≤65nm工艺的最新进展
【摘 要】
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本文介绍了当前世界顶级半导体公司、材料公司、设备公司和微电子科研中心研发65nm、45nm、32nm和5nm工艺的最新进展和成果。
【机 构】
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无锡机电高等职业技术学校,无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年1期
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