【摘 要】
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以金属β-二酮类有机螯合物Zr（DPM）4和Y（DPM）3为挥发性源物质,采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下（420～560℃）成功地在多孔α-Al2O3陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的Z
【机 构】
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中国科学技术大学结构分析中心开放实验室,中国科学技术大学材料科学与工程系
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以金属β-二酮类有机螯合物Zr（DPM）4和Y（DPM）3为挥发性源物质,采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下（420～560℃）成功地在多孔α-Al2O3陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的ZrO2和YSZ薄膜材料。XRD分析结果表明,纯ZrO2薄膜中除了单斜相外还存在着亚稳态的四方相。当掺入的Y2O3摩尔百分含量大于或等于7％时,ZrO2完全被稳定成立方相。SEM观察表明,在等离子体内的不同区域中生成的薄膜形貌有所不同。XPS检测了YSZ薄膜中Zr3d5/2和Zr3d3/2的电子结合能,发现较ZrO2的标准值低0.7eV。由TEM观察和由XRD衍射蜂半宽度计算,所制备的ZrO2和YSZ薄膜中微晶粒径在10nm左右。
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