常压等离子体渗氮工艺的研究

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利用介质阻挡放电原理,在自行研制的设备上进行了常压非平衡等离子体渗氮。研究表明,在等离子环境中,试样表面能迅速获得很深的渗层和白亮层,而电场外试样几乎无渗层。说明电场内气体电离率高,活性粒子浓度高。整个工艺过程操作简便,是一种很有发展前景的新工艺。
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