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期刊论文
高能电子束纳米曝光系统的研制
高能电子束纳米曝光系统的研制
来源 :第二届全国扫描电子显微学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:po54321s
【摘 要】
:
本文主要介绍了高能电子束纳米曝光系统重点环节的研制方案,在部分研制工作完成的基础上,进行了初步曝光实验,并就其结果进行了理论分析.
【作 者】
:
田丰
韩立
顾文琪
【机 构】
:
中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
:
第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
电子束曝光机
纳米曝光系统
电子束光刻
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本文主要介绍了高能电子束纳米曝光系统重点环节的研制方案,在部分研制工作完成的基础上,进行了初步曝光实验,并就其结果进行了理论分析.
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