论文部分内容阅读
对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题,对各种方案的特点、技术参数进行了对比.气体放电装置较高能激光装置结构简单、价格低,故气体放电EUV光源日益受到重视.
激光等离子体和气体放电EUV光刻光源
【摘 要】
：
对激光等离子体和气体放电两种EUV光刻光源的发展状况进行了详细介绍,分析了各种激光条件和放电方式的特点及所面临的主要问题,对各种方案的特点、技术参数进行了对比.气体放
【机 构】
：
哈尔滨工业大学
【出 处】
：
激光技术
【发表日期】
：
2004年6期
其他文献
利用旋涂法制备了三甲川菁染料掺杂高分子薄膜,室温下采用波长为532nm、数值孔径为0.65聚焦物镜的绿光存储装置研究了该染料薄膜的光存储特性.结果表明,三甲川菁染料薄膜在42
普及电脑信息技术：高校教学改革的新切入点金振邦（东北师范大学中文系·长春·１３００２４）２１世纪是一个全新的信息时代。高等教育能否培养出时代所需求的新型人才，将面临着严峻挑战。
一、引言编辑站、视频工作站、非线性编辑、脱机编辑系统……全新的名字，全新的概念；ＥＳ－７、ＤＴ－５０、创意９７、视讯１００……不同的型号，共同的目标。扑面而来的数字视音频浪潮，已经成为今天的电视制
采用激光预置熔覆法,通过在FeCSiB合金粉末中添加一定比率的强碳化物形成元素Zr,在中碳钢基体上制备原位析出的颗粒增强铁基复合材料表层.利用光学显微镜、场发射电子扫描显
建立了激光微细熔覆温度场模型,并推导出了布线线宽随激光功率及激光扫描速度的定量公式,通过它可以预测激光微细熔覆过程中形成给定线宽导线的激光参数.实验结果验证了该模
采用光偏转法测量了3种粗糙度的黄铜样品在潮湿环境与干燥环境下的激光烧蚀阈值.结果表明,两种烧蚀环境下,表面粗糙度越大,烧蚀阈值越低;同一粗糙度时,潮湿环境比干燥环境烧
提出了一种3个激光线结构光传感器测量系统的校准方法。该方法避免了对测量系统结构参数的繁琐标定,只需对特殊设计的模块进行一次测量就能得到系统的校准参数,从而快速有效地实现CCD像面坐标向世界空间坐标的转换。实验证明,在100mm测量范围内能获得0.05mm的空间定位精度,并能有效地抑止光源散斑噪声对激光三角法测量精度的影响。这一方法已经在多传感三维测量系统得到很好的应用。
介绍了一种带内多波长光标记分组交换技术.在这种光交换中,光信头由若干个与光载荷处于同一通信信道内的具有不同波长值的光脉冲构成.探讨了包括信头产生和光分组形成部分的