真空用旋转轴密封

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本发明是真空用机械旋转轴密封。以往的真空旋转轴密封是图1那样的螺纹密封。由圆筒形的转子和内周带有螺纹的定子的工作原理,使其产生由真空侧向高压倒排气的作用。防止由高压倒向真空侧浸入气体分子。 这样的螺纹密封,其密封性能受转子和定子之间的间隙大小的影响。 在气流可 The present invention is vacuum mechanical rotary shaft seal. The conventional vacuum rotary shaft seal is a thread seal as shown in FIG. 1. By the cylindrical rotor and the inner periphery with a threaded stator of the working principle, it produces from the vacuum side to the role of high pressure inverted exhaust. Prevent infiltration of gas molecules by reversing the high pressure to the vacuum side. Such a thread seal, its sealing performance by the size of the gap between the rotor and stator. In the air can be
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