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依据白光干涉理论，利用相移干涉法，研究了三维表面轮廓测量的原理与系统构成，讨论了白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法和数据处理的实现过程，实验结果表明，测量结果和数据处理都可精确地满足被测工件的要求。
白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法及实现
【摘 要】
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依据白光干涉理论，利用相移干涉法，研究了三维表面轮廓测量的原理与系统构成，讨论了白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法和数据处理的实现过程，实验结果表明，测量结果和数据处理
【机 构】
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哈尔滨理工大学仪器仪表学院,哈尔滨工业大学计算机与电气工程学院
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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1999年3期
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