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本文探讨了硅台面结构凸角腐蚀的原因。指出非理想的直角掩膜结构导致了凸角腐蚀，凸角处侧壁由横向腐蚀速率最快的晶面所构成。
硅台面结构凸角腐蚀原因探析
【摘 要】
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本文探讨了硅台面结构凸角腐蚀的原因。指出非理想的直角掩膜结构导致了凸角腐蚀，凸角处侧壁由横向腐蚀速率最快的晶面所构成。
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心南京市210096,南京市210096,南京市210096
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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