【摘 要】
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研究静电场耦合微机电系统(Micro electromechnical systems,简记为MEMS)的动态模型问题.首先,给出了耦合静电场的输入/输出两端点对模型,讨论了微机电系统的独立变量对的选
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研究静电场耦合微机电系统(Micro electromechnical systems,简记为MEMS)的动态模型问题.首先,给出了耦合静电场的输入/输出两端点对模型,讨论了微机电系统的独立变量对的选择与分析方法.其次,叙述了所研制的典型微结构,包括SEM照片、有限元分析的振动模态,以及简化模型.第三,分析了MEMS传感器系统的静电场与静电力表达式、动力学方程,以及开环和闭环传递函数.第四,给出了MEMS传感器系统的实测频率特性和等效模型参数,并且根据以上分析和试验结果,提出了几点有重要意义的结论.
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