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立方氮化硼(c-BN)薄膜因其优异的机械、电学特性而有着广泛的应用前景.本文在大量的实验研究基础上,阐明衬底温度和荷能粒子轰击的重要作用,并综合分析了其他研究者的结果,较全面地论述了c-BN薄膜沉积过程中非晶层和h-BN层的形成以及c-BN相的形核长大机制.
c-BN薄膜的生长机制
【摘 要】
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立方氮化硼(c-BN)薄膜因其优异的机械、电学特性而有着广泛的应用前景.本文在大量的实验研究基础上,阐明衬底温度和荷能粒子轰击的重要作用,并综合分析了其他研究者的结果,较
【机 构】
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北京工业大学材料学院
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2000年z2期
【基金项目】
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北京市科技新星计划、国家自然科学基金和北京市自然科学基金资助项目
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