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提出了一种含微参比电极和择优差补偿单元的背面引线PH-ISFET传感器的新结构,实现了敏感元和信号处理电路的完全隔离;基于SDB/SDI材料和硅微机械加工技术,研制成PH-ISFET传感器;讨论了含两种类型表面基的Si3N4/SiO2绝缘栅中硅醇基与胺基所占比率对Si3N4/SiO4栅PH-ISFET的敏感性能和稳定性的影响,对进一步改善PH-ISFET的敏感性能提供了一种实际的考虑。