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四氟化硅是目前电子工业的重要原料,特别是在多硅晶行业的快速发展下,四氟化硅需求量显著提升,相关研究也取得了显著进展。本文将对四氟化硅研究进展进行总结和分析,包括氟硅酸盐热解工艺、硫酸法制备工艺、氢氟酸法制备工艺等。
四氟化硅的研究进展
【摘 要】
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四氟化硅是目前电子工业的重要原料,特别是在多硅晶行业的快速发展下,四氟化硅需求量显著提升,相关研究也取得了显著进展。本文将对四氟化硅研究进展进行总结和分析,包括氟硅
【机 构】
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黔西南民族职业技术学院
【出 处】
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建材与装饰
【发表日期】
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2018年32期
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