【摘 要】
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一、光栅的干涉检验光栅干涉检验,实际上是最简单和最能显示光栅刻划质量的检验方法。因此,光栅刻出后,首先进行干涉检验。 1.仪器所用的仪器是泰曼干涉仪,其光路如图一所示
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一、光栅的干涉检验光栅干涉检验,实际上是最简单和最能显示光栅刻划质量的检验方法。因此,光栅刻出后,首先进行干涉检验。 1.仪器所用的仪器是泰曼干涉仪,其光路如图一所示。
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