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研究用BP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离.
射频MEMS开关中金属剥离工艺研究
【摘 要】
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研究用BP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后
【机 构】
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苏州市职业大学电子信息工程系,南京邮电大学通讯与信息工程学院,厦门大学萨本栋微机电研究中心
【出 处】
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苏州市职业大学学报
【发表日期】
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2012年02期
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