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本文用振幅矢量法分析二元光学元件的制作误差对衍射效率的影响，以四位相台阶光栅为例导出了衍射效率与对位误差、刻蚀深度误差的解析式并进行了讨论。
二元光学元件制作误差的振幅矢量分析法
【摘 要】
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本文用振幅矢量法分析二元光学元件的制作误差对衍射效率的影响，以四位相台阶光栅为例导出了衍射效率与对位误差、刻蚀深度误差的解析式并进行了讨论。
【机 构】
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南京大学物理系,南京动力高等专科学校
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1996年5期
【基金项目】
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江苏省自然科学基金
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