Trap analysis of composite 2D-3D channel in AlGaN/GaN/graded-AlGaN:Si/GaN:C multi-heterostructure at

来源 :中国物理B:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhiyuanboxue

【摘要】

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The graded AlGaN:Si back barrier can form the majority of three-dimensional electron gases(3DEGs)at the GaN/graded AlGaN:Si heterostructure and create a composi

【作者】

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胡晟杨凌宓珉瀚侯斌刘晟张濛武玫朱青武盛卢阳

【机构】

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StateKeyDisciplineLaboratoryofWideBand-gapSemiconductorTechnology,SchoolofMicroelectronics,ShanghaiP

【出处】

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中国物理B:英文版

【发表日期】

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2020年8期

【关键词】

：

AlGaN/GaN HEMT multi-heterostructure composite 2D-3D channel multi-temperature t

【基金项目】

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the National Key Research and Development Program of China(Grant No.2018YFB1802100),the Natural Science Foundation of Shaanxi Province,China(Grant Nos.2020JM-191 and 2018HJCG-20),the National Natural

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The graded AlGaN:Si back barrier can form the majority of three-dimensional electron gases(3DEGs)at the GaN/graded AlGaN:Si heterostructure and create a composite two-dimensional(2D)-three-dimensional(3D)channel in AlGaN/GaN/graded-AlGaN:Si/GaN:C heterost

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