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期刊论文
实用超高真空精确校准技术
实用超高真空精确校准技术
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tienan
【摘 要】
:
介绍了一种超高真空精确校准技术。该技术依赖磁悬浮转子规,因此具有简单,实用不确定度小等优点。给出了用技术校准分离规的实验结果。
【作 者】
:
李得天
李正海
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
磁悬浮转子规
超高真空测量
超高真空规
校准
UHV
calibration
spinning rotor gauge
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介绍了一种超高真空精确校准技术。该技术依赖磁悬浮转子规,因此具有简单,实用不确定度小等优点。给出了用技术校准分离规的实验结果。
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